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本发明公开了一种BAW滤波器结构及制备方法，涉及射频滤波技术。针对现有技术中应力问题导致不能工业化生产而提出本方案，将相互独立的压电薄膜单元生成于外延衬底表面得到转移结构体；在支撑衬底上设置谐振区域并覆盖键合单元得到键合结构体；将转移结构体...
该专利属于中山大学所有，仅供学习研究参考，未经过中山大学授权不得商用。

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