下载蒸镀装置及蒸镀材料的回收方法的技术资料

文档序号:33536201

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本申请提供了一种蒸镀装置及蒸镀材料的回收方法,蒸镀装置包括蒸镀源、限制板以及阻挡件,蒸镀源包括用于放置蒸镀材料的蒸镀腔和位于蒸镀腔在第一方向上一侧、并与蒸镀腔连通的至少一个蒸镀孔。至少两个限制板分设于蒸镀孔在第二方向上的两侧,第一方向与第二...
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