蒸镀装置及蒸镀材料的回收方法制造方法及图纸

本申请提供了一种蒸镀装置及蒸镀材料的回收方法，蒸镀装置包括蒸镀源、限制板以及阻挡件，蒸镀源包括用于放置蒸镀材料的蒸镀腔和位于蒸镀腔在第一方向上一侧、并与蒸镀腔连通的至少一个蒸镀孔。至少两个限制板分设于蒸镀孔在第二方向上的两侧，第一方向与第二方向相交；阻挡件位于限制板靠近蒸镀孔的一侧，阻挡件朝向蒸镀孔的一侧具有沿第二方向内凹形成的多个沉积孔。其中，蒸镀材料经由蒸镀孔向外膨化形成预设蒸发区域，限制板包括位于预设蒸发区域内的第一部分，阻挡件在限制板的正投影与第一部分至少部分交叠，以使至少部分蒸镀材料沉积于阻挡件。本申请实施例使得至少部分蒸镀材料能够沉积在阻挡件上，降低限制板上蒸镀材料的沉积量。材料的沉积量。材料的沉积量。

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置及蒸镀材料的回收方法


[0001]本申请涉及蒸镀设备
，尤其涉及一种蒸镀装置及蒸镀材料的回收方法。

技术介绍

[0002]现有的显示装置技术中，显示面板主要分为液晶显示面板和有机自发光显示面板两种主流的技术。其中，有机自发光显示面板采用有机电致发光材料，当有电流通过有机电致发光材料时，发光材料就会发光，进而实现了显示面板的显示功能。
[0003]有机发光显示面板的发光层是由多种功能层堆叠组成的发光器件，通常采用蒸镀工艺加工制作，即通过蒸镀工艺来蒸镀显示面板中的各功能层。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供了一种蒸镀装置及蒸镀材料的回收方法，能够减小蒸镀材料在限制板上的堆积。
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种蒸镀装置，包括蒸镀源、限制板以及阻挡件，蒸镀源包括用于放置蒸镀材料的蒸镀腔和位于蒸镀腔在第一方向上一侧、并与蒸镀腔连通的至少一个蒸镀孔。
[0006]至少两个限制板分设于蒸镀孔在第二方向上的两侧，第一方向与第二方向相交；阻挡件位于限制板靠近蒸镀孔的一侧，阻挡件朝向蒸镀孔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀源，包括用于放置蒸镀材料的蒸镀腔和位于蒸镀腔在第一方向上一侧、并与所述蒸镀腔连通的至少一个蒸镀孔；限制板，至少两个所述限制板分设于所述蒸镀孔在第二方向上的两侧，所述第一方向与所述第二方向相交；阻挡件，位于所述限制板靠近所述蒸镀孔的一侧，所述阻挡件朝向所述蒸镀孔的一侧具有沿所述第二方向内凹形成的多个沉积孔；其中，所述蒸镀材料经由所述蒸镀孔向外膨化形成预设蒸发区域，所述限制板包括位于所述预设蒸发区域内的第一部分，所述阻挡件在所述限制板的正投影与所述第一部分至少部分交叠，以使至少部分所述蒸镀材料沉积于所述阻挡件。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括：储存盒，设置于所述阻挡件在所述第一方向上朝向所述蒸镀源的一端，所述储存盒朝向所述阻挡件设置有开口，所述阻挡件沿所述第一方向可移动地设置于所述开口，以使所述阻挡件能够沿所述第一方向进入或离开所述储存盒。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括设置于所述储存盒至少一侧的散热机构，所述散热机构用于对所述储存盒进行散热；优选地，所述散热机构为水冷冷却机构，所述散热机构与所述储存盒隔断设置；优选地，所述散热机构环绕设置于所述储存盒的周侧。4.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，还包括设置于所述开口朝向所述阻挡件一侧的滑动件，所述滑动件沿所述第二方向可移动设置以能够覆盖所述开口。优选的，还包括容纳腔体，所述储存盒设置于所述容纳腔体，所述容纳腔体包括第一通孔，所述阻挡件由所述第一通孔伸入所述储存盒，所述滑动件沿所述第二方向可移动地设置于所述第一通孔，以使所述滑动件能够覆盖所述第一通孔。...

【专利技术属性】
技术研发人员：侯佳森，赵姗，
申请(专利权)人：合肥维信诺科技有限公司，
类型：发明
国别省市：