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本发明提供了一种铝合金靶材及其制备方法，属于靶材制备领域。本发明提出将铝铜铸锭旋转锻打、轧制整形、热处理得到靶材胚料。将靶材胚料和铝合金背板进行V型齿槽加工，卡合后进行冷等静压处理和V型齿结合边缘凹面电子束焊接得到铝合金靶材。本发明运用冷等...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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