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激光加工装置通过使在角部形成有由具有透光性的材料构成的涂层的加工对象物相对于光轴在规定方向上延伸的激光相对位移,从而对所述角部进行加工,所述激光加工装置具备:位移控制单元,控制致动器以使所述加工对象物相对于所述光轴相对接近或分离;探测部,在...该专利属于国立大学法人名古屋工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过国立大学法人名古屋工业大学授权不得商用。
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激光加工装置通过使在角部形成有由具有透光性的材料构成的涂层的加工对象物相对于光轴在规定方向上延伸的激光相对位移,从而对所述角部进行加工,所述激光加工装置具备:位移控制单元,控制致动器以使所述加工对象物相对于所述光轴相对接近或分离;探测部,在...