温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种半导体清洗设备通讯方法、系统以及计算机可读存储介质，所述方法包括以下步骤：主模块创建动作列表，所述主模块获取设备的当前状态参数并发送给控制模块，所述控制模块根据所述当前状态参数计算生成第一动作指令并发送给主模块；当所述主模块...
该专利属于珠海埃克斯智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海埃克斯智能科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。