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本发明公开了一种晶圆竖直刷洗装置，其包括喷液组件，所述喷液组件包括喷嘴，所述喷嘴的喷射方向与晶圆的旋转方向相匹配；所述喷嘴的数量为多个，以朝向不同方向及区域喷射流体，使得喷射的流体覆盖旋转晶圆的表面。使得喷射的流体覆盖旋转晶圆的表面。使得喷...
该专利属于华海清科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华海清科股份有限公司授权不得商用。

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