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本发明公开了一种简谐运动式晶圆清洗干燥方法，包括以下步骤：步骤一、将晶圆放置于晶圆清洗槽内；步骤二、向晶圆清洗槽内吹送氮气，氮气吹送完成后，向晶圆清洗槽内输送超纯水润湿晶圆；步骤三、将超纯水排出，向晶圆清洗槽内吹送异丙醇，向晶圆清洗槽内输送...
该专利属于合肥至汇半导体应用技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥至汇半导体应用技术有限公司授权不得商用。

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