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一种制备纳米球形蜂窝结构的方法技术
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文档序号:33533150
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本发明公开了一种制备纳米球形蜂窝结构的方法,本发明是以有序聚苯乙烯小球阵列为基础,使用等离子反应刻蚀的技术控制小球半径,用旋涂的方法将掺杂金属颗粒的PVA胶包裹在小球上,以构筑蜂窝结构从而设计热点强度位置,在利用磁控溅射的方式向样品表面共溅...
该专利属于杭州电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州电子科技大学授权不得商用。
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