一种制备纳米球形蜂窝结构的方法技术

本发明专利技术公开了一种制备纳米球形蜂窝结构的方法，本发明专利技术是以有序聚苯乙烯小球阵列为基础，使用等离子反应刻蚀的技术控制小球半径，用旋涂的方法将掺杂金属颗粒的PVA胶包裹在小球上，以构筑蜂窝结构从而设计热点强度位置，在利用磁控溅射的方式向样品表面共溅射银、二氧化硅膜，对样品进行化学腐蚀，使之小球内壁的金属纳米颗粒与PVA胶中金属纳米颗粒进行耦合，以提高其SERS强度。最终形成球形蜂窝纳米结构，这种结构设计了样品热点位置精确控制热点分布与强度，增强了其SERS强度。增强了其SERS强度。增强了其SERS强度。

【技术实现步骤摘要】
一种制备纳米球形蜂窝结构的方法


[0001]本专利技术属于周期纳米材料制备
，具体涉及一种制备纳米球形蜂窝结构的研究制备方法。
技术背景
[0002]利用磁控溅射、等离子反应刻蚀、旋涂等技术可以实现纳米球形蜂窝结构的制备，对纳米级空腔进行精度设计与加工，使得纳米阵列有序可控，以用于控制热点位置，设计热点强度从而增强SERS强度。
[0003]磁控溅射是物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。它的工作原理是指电子在电场E的作用下，在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使其电离产生出Ar正离子和新的电子；新电子飞向基片，Ar离子在电场作用下加速飞向阴极靶，并以高能量轰击靶表面，使靶材发生溅射。
[0004]表面增强拉曼散射(SERS)技术克服了传统拉曼光谱与生俱来的信号微弱的缺点，可以使得拉曼强度增大几个数量级。其增强因子可以高达10
14
～10
15...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制备纳米球形蜂窝结构的方法，其特征在于，该方法具体包括以下步骤：1)处理具有亲水性硅片，制备六方密排的聚苯乙烯小球阵列；2)使用等离子反应刻蚀技术，将小球半径从500nm刻小成450nm；3)称量质量比为1％PVA粉末，加入去离子水，放入磁力搅拌子，放在搅拌加热台上，90
°
高温加热搅拌，至溶液中颗粒全部溶解在水中；1％PVA胶制备完成；4)利用旋涂机将质量比1％PVA胶旋涂至样品上；5)使用等离子反应刻蚀技术，调整刻蚀时间，改变球与胶体间隙大小；6)利用磁控溅射在样品上制作银，二氧化硅共溅射膜；将银靶和二氧化硅靶各自倾斜40度，同时向硅片溅射；7)用质量比20％氢氟酸做表面化学处理，腐蚀30s，将共溅射中二氧化硅部分腐蚀掉，形成纳米球形蜂窝状结构。2.根据权利要求1所述的一种制备纳米球形蜂窝结构的方法，其特征在于：处理具有亲水性硅片，该方法具体包括以下步骤：1a)清洗硅片:用去离子水和无水乙醇分别浸泡干净硅片，再用超声仪超声15min，洗去硅片表面灰层脏污和油渍；将硅片取出来，放置在吸水纸上将残余水分吸干；1b)亲水处理：将硅片并放入烧杯中，在烧杯中分别加入体积比为1:2:6的氨水、过...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晓宇，梁龙杰，温嘉红，刘佳，张坤，孔哲，张永军，王雅新，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，
类型：发明
国别省市：