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本发明提供一种复合集流体的制备设备和制备方法,所述复合集流体的制备设备,包括真空蒸镀设备,在所述真空蒸镀设备的后方设置有水镀设备,所述真空蒸镀设备包括真空腔体,所述真空腔体内部设置有第一蒸镀架和第二蒸镀架,基材经过所述第一蒸镀架和第二蒸镀架...该专利属于昆山鑫美源电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山鑫美源电子科技有限公司授权不得商用。
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