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本发明公开了一种基于MEMS的光谱成像系统及方法，属于光谱成像领域，主要涉及微机电系统技术、光学系统设计技术和高光谱成像技术等。本发明通过在准直子系统和探测器之间引入一个MEMS扫描光栅镜阵列，使得经过DMD每个微镜扫描单元反射、又经准直子...
该专利属于西北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学授权不得商用。

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