下载一种微通道板的制备方法及由该制备方法制备得到的微通道板的技术资料

文档序号:33527601

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本发明公开微通道板及其制备方法,其制备包括:提供基底;在基底的一个表面上的预选位置形成柱形阵列;在所述基底和柱形阵列的表面上沉积电子倍增材料,形成电子倍增层;在电子倍增层上施加绝缘材料至完全覆盖柱形阵列,形成绝缘层;对得到的结构中绝缘层所在...
该专利属于中国电子科技集团公司第十二研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十二研究所授权不得商用。

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