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本发明构思涉及一种基板处理装置和基板处理方法，该基板处理方法包括：测量基板的对准状态，该基板放置在传送单元的手部上，该传送单元传送该基板；当基板的对准状态有问题时，通过传送单元将基板传送到基板对准单元；以及通过基板对准单元对准基板的位置，其...
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