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本发明提供一种能够适当地维持基板的高度位置和姿势的基板搬运装置及检查装置。在检查装置(100)中，在基板搬运装置(200)中，由分别沿着显示面板(1)的搬运方向(X)及宽度方向(Y)配置的多个支承辊(50)的辊面(501)支承被保持在保持架...
该专利属于日本电产三协株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电产三协株式会社授权不得商用。

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