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本实用新型公开了一种电子半导体行业废气治理装置，包括洗涤塔、除雾装置、多级干式过滤装置、转轮吸附脱附装置、加热器、蓄热式氧化炉、引风机一、引风机二、排气筒，所述洗涤塔内设有除雾层、水箱、喷淋层、滤料层一，洗涤塔连接有循环给水泵，循环给水泵与...
该专利属于上海科原环境科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海科原环境科技有限公司授权不得商用。

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