一种电子半导体行业废气治理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种电子半导体行业废气治理装置，包括洗涤塔、除雾装置、多级干式过滤装置、转轮吸附脱附装置、加热器、蓄热式氧化炉、引风机一、引风机二、排气筒，所述洗涤塔内设有除雾层、水箱、喷淋层、滤料层一，洗涤塔连接有循环给水泵，循环给水泵与喷淋层连通，洗涤塔上设有进风口一和出风口一。本实用新型专利技术前端预置洗涤塔把无机的酸性气体吸收，减少对后续设备的腐蚀，针对中低浓度的挥发性有机废气(VOCs)，去除颗粒物，减少转轮和蓄热体的堵塞，利用多级组合工艺，治理后的VOC排放值远远低于国家排放标准、地方标准或行业标准。地方标准或行业标准。地方标准或行业标准。

【技术实现步骤摘要】
一种电子半导体行业废气治理装置


[0001]本技术涉及半导体
，具体是一种电子半导体行业废气治理装置。

技术介绍

[0002]电子半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。产生的废气特点是含有颗粒物和酸、碱性废气、浓度不高、风量较大。
[0003]传统的蓄热式热力氧化炉(RTO)技术存在以下问题：1、无机的酸性物质进入RTO腐蚀性较强；2、粉尘颗粒物会堵塞转轮的微孔，同时会在蓄热体内沉积，影响换热效率。
[0004]因此，本技术提供了一种电子半导体行业废气治理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种电子半导体行业废气治理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种电子半导体行业废气治理装置，包括洗涤塔、除雾装置、多级干式过滤装置、转轮吸附脱附装置、加热器、蓄热式氧化炉、引风机一、引风机二、排气筒，所述洗涤塔内设有除雾本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子半导体行业废气治理装置，包括洗涤塔(1)、除雾装置(11)、多级干式过滤装置(15)、转轮吸附脱附装置(23)、加热器(28)、蓄热式氧化炉(31)、引风机一(35)、引风机二(36)、排气筒(38)，其特征在于，所述洗涤塔(1)内设有除雾层(2)、水箱(5)、喷淋层(7)、滤料层一(3)，洗涤塔(1)连接有循环给水泵(8)，循环给水泵(8)与喷淋层(7)连通，洗涤塔(1)上设有进风口一(4)和出风口一(6)。2.根据权利要求1所述的一种电子半导体行业废气治理装置，其特征在于，所述除雾装置(11)内设有波形板(10)，所述除雾装置(11)上设有进风口二(9)和出风口二(12)，进风口二(9)通过出风口一(6)与洗涤塔(1)连通。3.根据权利要求1所述的一种电子半导体行业废气治理装置，其特征在于，所述多级干式过滤装置(15)内设有滤料层二(14)，多级干式过滤装置(15)上设有进风口三(13)和出风口三(16)，进风口三(13)通过出风口二(12)与除雾装置(11)连通，出风口三(16)连通吸附风...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宏，张正星，
申请(专利权)人：上海科原环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：