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本实用新型公开了一种原子层沉积镀膜设备及其电感耦合线圈，该电感耦合线圈包括并联设置的第一柱状螺旋线圈与第二柱状螺旋线圈；所述第一柱状螺旋线圈与所述第二柱状螺旋线圈在空间呈上下排布设置；所述第一柱状螺旋线圈的输入端和所述第二柱状螺旋线圈的输入...
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