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公开了一种微机电系统以及封装结构,包括:壳体,所述壳体具有第一基板、第二基板以及第三基板,所述第一基板的表面和/或所述第三基板的表面具有导电区;至少一个电极,位于所述壳体的侧面;以及至少一个导线,用于分别经所述第一基板和/或所述第三基板将所...该专利属于苏州芯仪微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州芯仪微电子科技有限公司授权不得商用。
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公开了一种微机电系统以及封装结构,包括:壳体,所述壳体具有第一基板、第二基板以及第三基板,所述第一基板的表面和/或所述第三基板的表面具有导电区;至少一个电极,位于所述壳体的侧面;以及至少一个导线,用于分别经所述第一基板和/或所述第三基板将所...