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文档序号:33515721
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本发明涉及掩模制造方法。本发明的掩模制造方法用于制造OLED像素形成用掩模,该方法包括以下步骤:(a)准备掩模金属膜;(b)在掩模金属膜的至少第一面上形成图案化的第一绝缘部;(c)在掩模金属膜的第一面上通过第一绝缘部图案间的空间形成副掩模图...
该专利属于悟劳茂材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过悟劳茂材料公司授权不得商用。
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