下载气隙型FBAR的技术资料

文档序号:33513897

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公开了一种气隙型薄膜体声波谐振器(FBAR),包括:衬底,在顶部表面包括气隙部分;下电极,在所述衬底上方,具有多边形板形状,并且被配置成围绕所述气隙部分的顶部;压电层,形成在所述下电极上方;以及上电极,形成在所述压电层上方。其中,所述下电极...
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