专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
天津威盛电子有限公司
>
气隙型FBAR制造技术
>技术资料下载
下载气隙型FBAR的技术资料
文档序号:33513897
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
公开了一种气隙型薄膜体声波谐振器(FBAR),包括:衬底,在顶部表面包括气隙部分;下电极,在所述衬底上方,具有多边形板形状,并且被配置成围绕所述气隙部分的顶部;压电层,形成在所述下电极上方;以及上电极,形成在所述压电层上方。其中,所述下电极...
该专利属于天津威盛电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津威盛电子有限公司授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。