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本发明提供了一种薄膜晶体管的特性预测方法、装置及系统，所述方法包括：将用于制作待测薄膜晶体管的工艺条件、所述待测薄膜晶体管的二维结构参数以及物理参数输入至预先建立的器件特性模型，确定所述待测薄膜晶体管在标准温度值下的第一伏安特性曲线以及工作...
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