下载一种直拉单晶热场及用于该热场的复投工艺的技术资料

文档序号:33507513

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本发明提供一种直拉单晶热场及用于该热场的复投工艺,包括石英坩埚、石墨/碳碳坩埚、上固化保温筒、中固化保温筒和导流筒,还具有:置于石墨/碳碳坩埚上端面的支撑坩埚和置于上固化保温筒和中固化保温筒之间的支撑保温筒;支撑坩埚上端面低于石英坩埚上端面...
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