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本发明提供一种研磨液容器，包括：筒形侧壁，具有一研磨液出口；顶部封口，与所述筒形侧壁的顶部密封连接；底部封口，与所述筒形侧壁的底部密封连接。还提供一种研磨液摇匀装置，设置在研磨液供应单元内，包括：容器夹具，与研磨液容器相适配，以将所述研磨液...
该专利属于真芯（北京）半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过真芯（北京）半导体有限责任公司授权不得商用。

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