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本实用新型公开了一种适用于硅片和硅锭的电导率测试仪，属于半导体材料性能参数测试技术领域，包括基板、工作台和龙门框架，在龙门框架上设有升降气缸，在活塞杆的端部分别设有第一电磁测试探头和激光位移传感器；工作台设于基板上方，工作台的上表面中心位置...
该专利属于九域半导体科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过九域半导体科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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