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本申请公开了一种等离子制砣用的挥发物收集装置。包括:管道本体和排放装置,本申请设计有管道本体,其包括第一管道和第二管道,第一管道的一端与第二管道的一端垂直连接,且二者内部连通,第一管道用于排放硅挥发物,第二管道用于输送挥发气体;第二管道底端...该专利属于久智光电子材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过久智光电子材料科技有限公司授权不得商用。
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