下载一种用于芯片检测的光源装置以及检测装置的技术资料

文档序号:33505815

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本实用新型公开了一种用于芯片检测的光源装置以及检测装置,光源装置包括光源机构以及光环境调节机构;光环境调节机构包括驱动件以及光源透过板;光源透过板上形成有第一透光孔以及孔径小于第一透光孔孔径的第二透光孔;驱动件被配置为驱动光源透过板运动,以...
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