一种用于芯片检测的光源装置以及检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于芯片检测的光源装置以及检测装置，光源装置包括光源机构以及光环境调节机构；光环境调节机构包括驱动件以及光源透过板；光源透过板上形成有第一透光孔以及孔径小于第一透光孔孔径的第二透光孔；驱动件被配置为驱动光源透过板运动，以使光源机构所产生光线可选择性地与第一透光孔或第二透光孔对应；第一透光孔被配置为使光源机构所产生光线能够以均匀光线的方式照射在芯片上；第二透光孔被配置为使光源机构所产生光线中的部分光线以预设角度照射在芯片上。本实用新型专利技术可快速切换不同光线条件以对芯片的多项不同缺陷进行快速检测。不同缺陷进行快速检测。不同缺陷进行快速检测。

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片检测的光源装置以及检测装置


[0001]本技术涉及测试
更具体地，涉及一种用于芯片检测的光源装置以及检测装置。

技术介绍

[0002]现今数位影像技术不断创新、变化，数位相机与移动电话等的数位摄像载体都朝小型化发展，为达到此要求，光学系统的影像感测芯片不外乎采用感光耦合元件或互补型氧化金属半导体两种。但随着科技技术不断地精进，百倍变焦、亿万画素，还可拍摄8K影片的要求，就必须仰赖COMS高速影像感测芯片才能达成。一般高速影像感测芯片出厂前，须经一连串测试，测试过程必须提供光源，让感光区获得所需的光线种类及强度，以进行相关的测试。
[0003]现有对芯片进行测试的检测设备包括光源装置，但是传统的光源装置仅能够为待检测的芯片提供一种单色均匀光线，仅针对芯片进行某一单一缺陷的检测。当需要为待检测芯片进行另一种不同于单色均匀光线下的缺陷检测时，需要更换另外一组具有其他光线条件的光源装置进行测试，不仅浪费测试时间、降低测试效率，也提高了测试成本。
[0004]因此，亟待提供一种新的光源装置以及检测装置以实现在不同光线条本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片检测的光源装置，其特征在于，所述光源装置包括：光源机构，被配置为作为光源以产生光线；以及位于所述光源机构出光侧的光环境调节机构；所述光环境调节机构包括：驱动件；以及位于所述光源机构出光侧的光源透过板；所述光源透过板上形成有沿第一方向排列的第一透光孔以及孔径小于第一透光孔孔径的第二透光孔；所述驱动件被配置为驱动所述光源透过板运动，以使光源机构所产生光线可选择性地与第一透光孔或第二透光孔对应；所述第一透光孔被配置为使光源机构所产生光线能够以均匀光线的方式照射在芯片上；所述第二透光孔被配置为使光源机构所产生光线中的部分光线以预设角度照射在芯片上。2.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述第一透光孔的孔道以及第二透光孔的孔道均为等径孔道结构。3.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，由所述第二透光孔的入光端口至出光端口，所述第二透光孔的孔道呈孔径渐扩的扩孔结构。4.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，由所述第二透光孔的入光端口至出光端口，所述第二透光孔的孔道至少包括有位于入光端口一侧的等径孔段，以及位于出光端口一侧的孔道呈孔径渐扩的扩孔孔段。5.根据权利要求1所述的光源装置，其特征在于，所述光环境调节机构还包括有扩散板，所述扩散板位于所述光源透过板的靠近光源机构一侧，该扩散板覆盖所述第一透光孔以及第二透光孔。6.一种检测装置，其特征在于，包括如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：史赛，冯利民，
申请(专利权)人：苏州华兴源创科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：