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本实用新型涉及一种硅片花篮清洗装置，包括输送平台，输送平台上设置有传送皮带，传送皮带上放置有花篮；刷洗组件，其位于输送平台的上方，刷洗组件包括第一驱动源、安装板和清洗刷；清洗刷设置在所述安装板的底部，清洗刷与花篮的内部相配合，第一驱动源驱动...
该专利属于元能微电子科技南通有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过元能微电子科技南通有限公司授权不得商用。

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