下载一种铌酸锂单面抛光片的清洗方法的技术资料

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一种铌酸锂单面抛光片的清洗方法。包括:将铌酸锂晶片进行氟化氢铵浸泡清洗;将晶片进行有机溶剂清洗液超声清洗;将晶片进行去离子水冲洗;将晶片进行双面毛刷刷洗;将晶片进行单面毛刷刷洗,最终可以得到一种碎片率低、洁净度高的铌酸锂晶片。净度高的铌酸锂...
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