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本实用新型公开一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置,包括:用于安装待腐蚀工件的载板夹具座、喷淋件、设置在所述载板夹具座与喷淋件之间的扇窗组件、旋转驱动组件,所述载板夹具座上设置有若干弹性夹;所述扇窗组件包括:导电架、可旋转地安装于所述导电架上...该专利属于迈达微(深圳)半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过迈达微(深圳)半导体技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种弱流环境雾汽腐蚀显影及蚀刻装置,包括:用于安装待腐蚀工件的载板夹具座、喷淋件、设置在所述载板夹具座与喷淋件之间的扇窗组件、旋转驱动组件,所述载板夹具座上设置有若干弹性夹;所述扇窗组件包括:导电架、可旋转地安装于所述导电架上...