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本实用新型公开了氮化镓压力传感器，所述氮化镓压力传感器包括：第一衬底、第二衬底、外延结构、源极、漏极、栅极和凹槽，所述源极、所述漏极和所述栅极位于所述外延结构远离所述第二衬底的一侧，所述源极和所述漏极分别位于所述栅极相对的两侧，所述栅极的数...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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