下载一种石英锭生产装置的技术资料

文档序号:33483774

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本申请提供了一种石英锭生产装置,包括:封闭的掺杂剂容器,所述掺杂剂容器至少为一个,用于盛装石英掺杂元素配置成的溶液;气体输入管,其一端与所述掺杂剂容器连通,另一端设有洁净压缩空气入口;所述气体输入管上设有气体流量控制阀用于控制洁净压缩空气进...
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