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一种远红外超透镜及其加工方法技术
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文档序号:33476073
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本公开涉及一种远红外超透镜,其包括结构层和基底层,且在所述结构层和基底层之间设置有间隔层;其中,所述间隔层对刻蚀气体呈惰性;所述结构层设置有阵列排布的结构单元,所述结构单元由周期性排布的纳米结构组成,所述纳米结构的高度一致。还涉及上述远红外...
该专利属于深圳迈塔兰斯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳迈塔兰斯科技有限公司授权不得商用。
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