下载含硅氧化物被覆氮化铝粒子的技术资料

文档序号:33475595

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本发明提供维持氮化铝粒子的高导热性、且耐湿性提高的含硅氧化物被覆氮化铝粒子。其是具有氮化铝粒子和覆盖所述氮化铝粒子表面的含硅氧化物被膜的含硅氧化物被覆氮化铝粒子,其中,碳原子的含量小于1000质量ppm,通过表面AES分析测量得到的Si/A...
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