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一种用于定位物体的移动平台和固晶摆臂制造技术
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下载一种用于定位物体的移动平台和固晶摆臂的技术资料
文档序号:33462296
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本发明提供一种用于定位物体的移动平台和固晶摆臂,该移动平台包括第一驱动装置、第二驱动装置、第三驱动装置、载物平台和第四驱动装置,第一驱动装置包括第一动子和第一定子,第一动子能相对第一定子沿第一方向移动,第一动子分别与第二驱动装置和第三驱动装...
该专利属于珠海市硅酷科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过珠海市硅酷科技有限公司授权不得商用。
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