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本发明公开了一种单晶硅片表面处理装置，涉及单晶硅片加工技术领域，包括底座、支撑座和抛光板，所述底座的顶部外侧设置有转动组件，所述支撑座安置于转动组件的顶部外侧，所述支撑座的顶部外侧连接有吸盘座，且支撑座的外端连接有螺纹座，所述螺纹座的内侧设...
该专利属于武帅帅所有，仅供学习研究参考，未经过武帅帅授权不得商用。

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