下载三维存储器及其制备方法、存储系统的技术资料

文档序号:33459719

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供了三维存储器及其制备方法、存储系统。根据本公开的一种制备三维存储器的方法包括:在衬底的一侧上形成电介质堆叠结构,电介质堆叠结构包括核心区;在核心区形成贯穿电介质堆叠结构的沟道结构;形成辅助虚拟结构,辅助虚拟结构的至少部分位于核心区...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。