下载一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备的技术资料

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本实用新型提供一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备,属于真空设备技术领域,其中,单向微滤阀包括:阀体、阀芯、弹性件、微滤件和节流塞,所述阀芯滑动设置在阀体内;所述弹性件连接所述阀芯,具有使所述阀芯朝向将所述流通通道封闭的方向进行移动的...
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