一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备，属于真空设备技术领域，其中，单向微滤阀包括：阀体、阀芯、弹性件、微滤件和节流塞，所述阀芯滑动设置在阀体内；所述弹性件连接所述阀芯，具有使所述阀芯朝向将所述流通通道封闭的方向进行移动的弹性力；微滤件，设置在所述流通通道内，用于过滤流通在所述流通通道的流体；节流塞，设置在所述阀体的进口段内，具有与所述微滤件连通的节流孔；本实用新型专利技术的单向微滤阀，在进口段内通过节流塞配合微滤件，实现超低流量的通过，并通过微滤件保证通过的流体具有超高洁净度，从而保证流体能够进行超低流量和超高洁净度的单向导通。向导通。向导通。

【技术实现步骤摘要】
一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备


[0001]本技术涉及真空设备
，具体涉及一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备。

技术介绍

[0002]真空或压缩机领域，某些特殊工况或轴封保护气体需要按要求的流量，洁净度，单向流动。具体的，例如真空泵低压端轴封保护气需要超低流量(确保真空度不受影响)和超高洁净度(确保轴封不受损)。
[0003]市面现有单向阀无论从流量控制和洁净度控制，都没有办法满足要求。

技术实现思路

[0004]因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的单向阀无法保证进行超低流量和超高洁净度导通的缺陷，从而提供一种单向微滤阀及具有该单向微滤阀的真空设备。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供一种单向微滤阀，包括：
[0006]阀体，具有进口段和出口段，所述进口段和所述出口段之间具有流通通道；
[0007]阀芯，滑动设置在所述阀体的出口段内，具有用于封堵所述流通通道的封堵部分，所述封堵部分通过朝向所述流通通道的方向进行移动以对所述流通通道进行封堵；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单向微滤阀，其特征在于，包括：阀体(1)，具有进口段(3)和出口段(4)，所述进口段(3)和所述出口段(4)之间具有流通通道(5)；阀芯(2)，滑动设置在所述阀体(1)的出口段(4)内，具有用于封堵所述流通通道(5)的封堵部分(10)，所述封堵部分(10)通过朝向所述流通通道(5)的方向进行移动以对所述流通通道(5)进行封堵；弹性件(6)，连接所述阀芯(2)，具有使所述阀芯(2)朝向将所述流通通道(5)封闭的方向进行移动的弹性力；微滤件(7)，设置在所述流通通道(5)内，用于过滤流通在所述流通通道(5)的流体；节流塞(8)，设置在所述阀体(1)的进口段(3)内，具有与所述微滤件(7)连通的节流孔。2.根据权利要求1所述的单向微滤阀，其特征在于，所述微滤件(7)为圆柱形，所述流通通道(5)的一端具有用于安装所述微滤件(7)的柱形腔段(9)。3.根据权利要求2所述的单向微滤阀，其特征在于，所述阀芯(2)的封堵部分(10)为矩形，所述流通通道(5)的另一端具有用于容纳所述阀芯(2)的封堵部分(10)的矩形腔段(11)。4.根据权利要求3所述的单向微滤阀，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：岳向成，
申请(专利权)人：川北真空科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：