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本实用新型公开了减弱硅片加工过程中粉尘颗粒溢散用的净化设施，包括过滤箱，过滤箱一侧设置有通风口，过滤箱一侧固定安装有固定架，固定架内部固定安装有电机设备，电机设备一端固定安装有转轴，转轴上表面固定安装有扇叶，过滤箱内壁顶部固定安装有正反电机...
该专利属于天津华帅硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津华帅硅材料有限公司授权不得商用。

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