温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开实施例公开了一种相变存储器及其制作方法,所述方法包括:在第一导电层上形成堆叠结构;其中,所述堆叠结构至少包括电极层和相变材料层;沿垂直于所述第一导电层的第一方向,形成贯穿所述堆叠结构和所述第一导电层的第一间隙;形成覆盖所述第一间隙的侧...该专利属于长江先进存储产业创新中心有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江先进存储产业创新中心有限责任公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本公开实施例公开了一种相变存储器及其制作方法,所述方法包括:在第一导电层上形成堆叠结构;其中,所述堆叠结构至少包括电极层和相变材料层;沿垂直于所述第一导电层的第一方向,形成贯穿所述堆叠结构和所述第一导电层的第一间隙;形成覆盖所述第一间隙的侧...