下载一种无接触水平定位装置的技术资料

文档序号:33455316

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本实用新型公开了一种无接触水平定位装置,包括气浮平台、拍正机构及传动机构,气浮平台的表面设置有多个阵列分布的微气孔,气浮平台的背面设置有若干个阵列分布的与对应的微气孔连通的气浮吸盘,每一个气浮吸盘均与真空发生器连接;拍正机构分布在气浮平台的...
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