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本实用新型提供一种接头组件、过渡腔体及镀膜设备，涉及化学气相沉积技术领域。接头组件包括进气接头和耗散单元，进气接头的出气端与耗散单元相连；耗散单元内设有至少一个耗散腔，耗散腔的内壁具有进气侧和出气侧，进气侧开设有进气孔，出气侧开设有出气孔，...
该专利属于深圳市纳设智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市纳设智能装备有限公司授权不得商用。

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