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本实用新型揭示了一种晶圆转运装置，包括底座，所述底座上对称设置有多组移动轮，所述底座上设置有安装板，所述安装板上安装有操作台，所述操作台包括至少两个放置框，所述放置框内壁设为斜坡状。本实用新型可放置更多的晶圆舟，提高转运效率，且便于在放置框...
该专利属于上海伟测半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海伟测半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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