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本实用新型公开了一种半导体研磨液供给装置，属于研磨设备技术领域，包括外箱体，所述外箱体的上端设置有散热组件；所述散热组件包括电机一、转动辊二、散热风扇二、传送带、水冷散热组件、散热风扇一和转动辊一，其中，所述外箱体的上端设置有电机一，所述电...
该专利属于广东汉岂工业技术研发有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东汉岂工业技术研发有限公司授权不得商用。

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