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单晶硅上料自适应夹持转运装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:33449979
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本发明涉及单晶硅上料自适应夹持转运装置及方法,包括上料机构及位于上料机构旁侧用于承接单晶硅的转运机构,上料机构包括送料机架及铰接于送料机架上由送料驱动机构驱动转动的上料架,转运机构包括滑台及用于夹持单晶硅的转运夹爪,转运机构旁侧具有单晶硅棒...
该专利属于福州天瑞线锯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福州天瑞线锯科技有限公司授权不得商用。
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