下载单晶硅上料自适应夹持转运装置及方法的技术资料

文档序号:33449979

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本发明涉及单晶硅上料自适应夹持转运装置及方法,包括上料机构及位于上料机构旁侧用于承接单晶硅的转运机构,上料机构包括送料机架及铰接于送料机架上由送料驱动机构驱动转动的上料架,转运机构包括滑台及用于夹持单晶硅的转运夹爪,转运机构旁侧具有单晶硅棒...
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