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安徽格恩半导体有限公司
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一种半导体元件制造技术
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文档序号:33449889
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本发明涉及半导体光电器件的技术领域,特别是涉及一种半导体元件,从下至上依次包括衬底、第一导电型半导体,多量子阱,电子阻挡层和第二导电型半导体,本发明通过控制层叠过程中N2/H2/NH3的压强、温度、MO源、流量及比例等方法调控第二导电型半导...
该专利属于安徽格恩半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽格恩半导体有限公司授权不得商用。
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