下载横向光电探测器的技术资料

文档序号:33448328

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本发明提供一种横向光电探测器。该横向光电探测器包括:衬底;第一外延层,形成于衬底上,且背离衬底的一侧形成吸收倍增区,吸收倍增区为轻掺杂N型区;阳极区和阴极区,分别形成于第一外延层上表面的两侧;其中,阳极区和阴极区未直接接触,阳极区、吸收倍增...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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