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本发明提供一种横向光电探测器。该横向光电探测器包括:衬底;第一外延层,形成于衬底上;X个阳极区和Y个阴极区,X个阳极区和Y个阴极区交替排列,均形成于第一外延层上;其中,X个阳极区和Y个阴极区相互之间均未直接接触,每两个相邻的阳极区和阴极区通...该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。
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本发明提供一种横向光电探测器。该横向光电探测器包括:衬底;第一外延层,形成于衬底上;X个阳极区和Y个阴极区,X个阳极区和Y个阴极区交替排列,均形成于第一外延层上;其中,X个阳极区和Y个阴极区相互之间均未直接接触,每两个相邻的阳极区和阴极区通...